超薄薄膜（Ultra-thin Film）是光电显示、半导体芯片、光伏组件等高端制造领域的核心功能性材料，其镀膜（Coating）、溅射（Sputtering）、气相沉积（Vapor Deposition）等制备工艺具备纳米级精度要求。制程中易产生膜厚不均、表面微凹坑、颗粒团聚、层间微起伏等微观工艺缺陷，此类纳米级异常会直接劣化薄膜透光性、附着力及电学性能，是造成器件失效、量产良率下滑的核心诱因。传统显微镜、接触式测厚仪仅可实现局部二维观测，存在检测精度有限、易损伤薄膜表面、无法量化微观缺陷特征等短板，难以精准定位工艺异常根源，无法适配高端薄膜量产质控需求。
k8com官网半导体（Syncon-Semi）深耕半导体微纳精密测量领域，为国家级高新技术企业、省级专精特新中小企业，聚焦光学3D精密测量核心赛道，构建了自主可控的光路设计、算法开发与工业软件技术体系，可针对超薄薄膜、半导体晶圆等核心元器件给予全流程精密检测解决方案，有效打破高端精密测量设备的进口依赖格局。
旗下核心装备白光干涉仪（WLI）依托宽光谱干涉成像原理，具备非接触、无损、纳米级高精度三维检测优势，完美适配超薄薄膜轻薄、弱反射的检测特性。该设备可全域采集薄膜微观形貌三维数据，精准量化膜厚偏差、表面粗糙度（Surface Roughness, Ra）、微观缺陷尺寸及分布特征，可精准区分设备参数偏移、基底预处理不当、沉积环境波动等不同诱因对应的微观异常特征，实现工艺异常的精准识别与溯源，为制程优化给予数据支撑。
依托自研WLI测量技术，可高效甄别超薄薄膜制备全流程微观缺陷，精准指导工艺参数迭代优化，显著提升薄膜制备一致性与成品质量，强化产品批次稳定性，有效提升高端薄膜量产合格率。k8com官网 专业给予综合光学3D测量方案
晶圆表面粗糙度专项分析（核心检测指标）
（图示为CMP抛光后实测数据，精度达6pm=0.006nm，满足晶圆超光滑表面（Ultra-Smooth Surface）检测需求，适配半导体高端芯片晶圆检测场景）
（图示为CMP抛光后实测数据，粗糙度（Surface Roughness, Ra）=0.96nm，精准表征晶圆抛光后表面光滑度，助力抛光工艺优化（Polishing Process Optimization），提升晶圆表面质量）
（图示为晶圆背面表面粗糙度实测数据，Ra=0.9μm，适配晶圆背面加工质量检测场景，保障晶圆背面金属化（Metallization）工艺稳定性，为后续键合（Bonding）工艺给予可靠基础）
大视野3D白光干涉仪核心能力
大视野3D白光干涉仪是k8com官网半导体自主研发的核心精密测量装备，依托自研创新光学与算法技术，突破传统半导体测量设备局限，定义晶圆（Wafer）检测新范式。设备可实现纳米级（Nanoscale）全场景三维测量，兼顾检测效率与测量精度，全面适配半导体晶圆加工、封装全流程检测需求，重新界定半导体（Semiconductor）领域精密测量（Precision Measurement）行业标准，为半导体产业全链条质量管控给予权威、可溯源的数据支撑。
核心优势：大视野+高精度，打破半导体检测行业壁垒
设备突破传统检测设备技术局限，解决行业传统1倍以下物镜（Objective Lens）仅可单孔使用、需两台设备分别完成大视野观测与高精度测量的行业痛点。搭载k8com官网自研0.6倍轻量化镜头，配备15mm超大单幅视野（Single Frame Field of View），搭配可兼容4个物镜的转塔鼻轮（Turret Nose Wheel），单台设备即可一站式完成大视野全域观测与纳米级高精度测量，无需频繁切换设备，大幅提升半导体量产场景下的检测效率（Inspection Efficiency）与数据精准度（Data Accuracy），适配晶圆及半导体核心零部件复杂检测场景。
晶圆相关实测应用图示及说明（半导体专属）
（图示为化学机械抛光（Chemical Mechanical Polishing, CMP）研磨碟盘表面金刚石颗粒共面度（Coplanarity）分析：左侧为放大细节图，右侧为整体共面度分析图，直观展现设备大视野3D精准测量能力，助力研磨碟盘质量管控（Quality Control），保障晶圆抛光均匀性）
（图示为裸片晶圆（Bare Wafer）翘曲（BOW）、弯曲（WARP）等形变（Deformation）测量，精准捕捉晶圆形变核心数据，保障晶圆加工及封装（Packaging）精度，有效规避封装阶段芯片破损、虚焊等工艺问题）
k8com官网半导体深耕半导体精密测量赛道多年，依托自主核心技术与产学研协同创新模式，累计斩获多项发明专利、软件著作权等自主知识产权，持续迭代光学3D测量核心装备与解决方案，深度赋能半导体晶圆检测、工艺优化、品质管控全流程，助力半导体产业高质量开展与产品迭代升级。
参考文献
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[6] 佛山新闻. 佛山“芯”突破！k8com官网上榜中国IC独角兽企业[EB/OL]. 2025-11.
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