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白光干涉测量解析镜筒定位面平面度的像质影响机理

摘要镜筒定位面平面度偏差会顺利获得镜片装配偏差诱发光学系统像质劣化，明确其影响机理是提升光学系统性能的关键。白光干涉测量技术凭借非接触、纳米级精度优势，可精准表征定...

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2026

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微流控封装贴合平面度优化及白光干涉测量检测技术应用

摘要微流控封装贴合平面度直接影响器件密封性能与工作稳定性，优化平面度并采用精准检测技术，是提升微流控芯片质量的关键。白光干涉测量技术凭借非接触、纳米级精度的优势...

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LNG 深冷硬密封蝶阀平面度形变机理与白光干涉测量表征

摘要LNG深冷硬密封蝶阀是液化天然气储存、输送系统的核心部件，长期工作于-162℃深冷工况，其密封面平面度易发生形变，引发密封失效、LNG泄漏等隐患。明确平面度...

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镜筒定位面平面度与镜片间隔精度的白光干涉测量应用

摘要镜筒定位面平面度与镜片间隔精度是决定光学系统成像质量的核心参数，二者偏差易导致光轴偏移、成像模糊等问题。白光干涉测量技术具备非接触、纳米级精度优势，可实现两...

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