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多功能面型干涉仪
多功能面型干涉仪

全新激光光学频率梳技术

完美兼具实验室和产线自动化3D测量需求

·  纳米精度，200×200mm 大视野全域扫描

·  可测 70mm大台阶工件双面平行度

·  加装光谱模块，同步检测面型与粗糙度

·  自动测量智能判定，适配批量全检

·  独创光路，双面同扫精准测厚与平行度

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多功能面型干涉仪

纳米精度｜200×200mm 视野，扫描成像


多功能面型干涉仪

传统干涉仪受光学局限，无法对70mm台阶工件双面同步扫描，难以测量平面平行度。

多功能面型干涉仪

传统截面测量易因样品差异造成取样偏移，数据偏差大；面台阶测量可有效杜绝此类误差。

多功能面型干涉仪

传统大视野面测受光学限制，XY 精度难以兼顾，加装光谱模块即可完美兼顾粗糙度测量。

多功能面型干涉仪

纳米精密检测设备搭载自动点位测量与智能OK NG判定功能，大幅提速，适配批量全检作业。

多功能面型干涉仪

专属独特光路架构，非透明样品支持上下表面同时扫描，可精准检测厚度均匀性与面平行度


多功能面型干涉仪

纳米精度｜200×200mm 视野，扫描成像


多功能面型干涉仪

传统干涉仪受光学局限，无法对70mm台阶工件双面同步扫描，难以测量平面平行度。

多功能面型干涉仪

传统截面测量易因样品差异造成取样偏移，数据偏差大；面台阶测量可有效杜绝此类误差。

多功能面型干涉仪

传统大视野面测受光学限制，XY 精度难以兼顾，加装光谱模块即可完美兼顾粗糙度测量。

多功能面型干涉仪

纳米精密检测设备搭载自动点位测量与智能OK NG判定功能，大幅提速，适配批量全检作业。

多功能面型干涉仪

专属独特光路架构，非透明样品支持上下表面同时扫描，可精准检测厚度均匀性与面平行度